Використання методу ґазодинамічного потоку пари для осадження сполук PbS та ZnS

Р. І. Никируй

Анотація


Наведено вирази для термодинамічних параметрів пари ґазодинамічного потоку за лінійним ґра­дієнтом температур вздовж циліндричного каналу. Розраховано залежність числа Маха, коефіцієнта і результуючої швидкості конденсації, густини потоку пари, ступеня пересичення та критичного перерізу пари сульфідів кадмію, плюмбуму та цинку від температури випаровування матеріалу, ґрадієнта температури вздовж стінок камери та безрозмірної координати для одержання найбільш досконалої структури.

Ключові слова: ґазодинамічний потік пари, PbS, ZnS, тонкі плівки.

Посилання:

  1. L. Esaki, R. Tsu, IBM J. Res. Dev., 14, 61 (1970).
  2. S.K. Mandal, S. Chaudhuri, A.K. Pal, Thin Solid Films, 357, 102 (1999).
  3. C. Ricolleau, L. Audinet, M. Gandais, T. Gacoin, J.P. Boilot, Journal of Crystal Growth, 203, 486 (1999).
  4. S.A. Medvedev, Fizika i himijasoedinenij AІІVVI (Mir, Moskva, 1970).
  5. P.G. Krinicyn, S.P. Popov, Ju.A. Chul'zhanov, G.M. Rylov, P.G. Krinicyn, Kristally: rost, svojstva, real'naja struktura, primenenie: Tr. IV Mezhd. Konf (VNIISIMS, Aleksandrov, 1999), s. 140.
  6. N.N. Ledencov, V.M. Ustinov, V.A. Shhukin, P.S. Kop'ev, Zh.A. Alferov, D. Bimberg, FTP, 32 (4), 385 (1998).
  7. D.N. Borisenko, avtoref. dis. na zdobuttja nauk. stupenja kand. tehn. nauk (Chernogolovka, 2005).
  8. M.A. Lopjanko, R.І. Nikiruj, І.V. Kalitchuk, Fіzika і hіmіjatverdogotіla, 7 (2), 235 (2006).
  9. Ju.Z. Bubnov, M.S. Lur'e, F.G. Staros, G.A. Filaretov, Vakuumnoe nanesenie plenok v kvazizamknutom objeme (Leningrad, 1975).



Повний текст: PDF
5 :: 0

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.