Профілі деформації імплантованих йонами бору монокристалічних плівок ферум-ітрієвого ґранату на ґадоліній-ґалієвому ґранаті, які обчислені з одночасним використанням результатів симетричної та асиметричної ґеометрій зйомки

Б. К. Остафійчук, В. І. Кравець, І. П. Яремій, С. Я. Клюка

Анотація


Монокристалічна плівка ферум-ітрієвого ґранату, яка вирощена методом рідкофазної епітаксії на монокристалах ґадоліній-ґалієвого ґранату з площиною зрізу (111) та імплантована йонами бору з енерґією 80 кеВ і дозою 3∙1014 см–2, досліджувалась методом двокристального спектрометра в ґеометрії Бреґґа. Обчислено профіль деформацій плівки з одночасним використанням результатів симетричної та асиметричної ґеометрій зйомки. Показано важливість того, що для коректного обчислення профілів необхідно наперед визначитися з характером деформації плівки, а також вказано методи, якими це можна зробити. Одержано точні формули для кута пристосування під час нормальної деформації чарунки у випадку відбиваючої площини (110) і площини зрізу (111).

Ключові слова: ферум-ітрієвий ґранат, йонна імплантація, X-промінева дифрактометрія, профілі деформацій.

Посилання:

  1. Kostishyn V.G. Hard bubble suppression in (Ca, Ge)-substituted magnetic epigarnets by high-dose gamma-irradiation / V.G. Kostishyn, L.M. Letyuk, A.G. Kirpenko, A.T. Morchenko, M.N. Shipko // J. Magn. And Magnet. Mater. – 1996. – V. 160. – R. 365-366.
  2. Kalandadze L. The influence of dielectric permittivity of the medium on the magneto-optical properties of the magnetite // J. of IEEE Transactions on Magnetics. – 2008. – Vol. 44, N 11. – P. 3293-3296.
  3. Kohn V.G., Kovalchuk M.V. On the Theory of External Photoeffect Accompanying X-Ray Diffraction in an Ideal Crystal with Disturbed Surface Layer / Kohn V.G., Kovalchuk M.V. // Phys. stat. sol. A. – 1981. – Vol. 64, N 2. – P. 359-366.
  4. Koval'chuk M.V., Kon V.G., Lobanovich Je.F. Izmerenie malyh deformacij v tonkih jepitaksial'nyh plenkah kremnija metodom fotojelektronnoj jemissii, vozbuzhdennoj stojachej rentgenovskoj volnoj // FTT. – 1985. – T. 27, Vyp. 11. – C. 3379-3387.
  5. Dinamіchna difrakcіja H-promenіv u bagatosharovih strukturah / O.M. Єfanov, V.P. Klad'ko, V.F. Machulіn, V.B. Molodkіn. – Kiiv: Naukova dumka, 2008. – 220 s.
  6. Rentgenodifrakcionnaja diagnostika uprugo-naprjazhennogo sostojanija nanogeterostruktur / Pod. red. B.S. Karamurzova, Ju.P. Hapacheva // Kabardino-Balkarskij gosudarstvennyj universitet. – Nal'chik. – 2008. – 205 s.
  7. Goncharskij A.V., Stepanov A.A. Matematicheskie modeli i fazovaja problema v obratnoj zadache rentgenovskoj difrakcii // Matematicheskoe modelirovanie. – 1994. – T. 6, N 12. – C. 117-127.
  8. Strukturna dіagnostika pripoverhnevih sharіv іonno-іmplantovanih monokristalіv ta plіvok zі strukturoju granatu / І.P. Jaremіj, V.І Kravec', V.M. Pilipіv ta іn. // Vіsnik Prikarpats'kogo unіversitetu. Matematika. Fіzika. – Vip. 3. – 2007. – S. 59-65.
  9. Mehanіzmi defektoutvorennja pri іmplantacіi monokristalіv GGG іonami V+ ta Ne+ / B.K. Ostafіjchuk, V.D. Fedorіv, S.І. Jaremіj ta іn. // Metallofizika i novejshie tehnologii. – 2008. – T. 30, № 8. – S. 1061-1068.
  10. Kravec V.I., Ostafijchuk B.K., Olihovskij S.I. Opredelenie profilja deformacii v ionno-implantirovannyh plenkah zhelezo-ittrievogo granata s pomoshh'ju kinematicheskoj teorii rasseivanija // Metallofizika. – 1991. – T. 13, № 6. – S. 102-106.
  11. Struktura pripoverhnostnogo sloja ferrit-granatovoj plenki, implantirovannoj ionami bora / B.K. Ostafijchuk, V.D. Fedoriv, V.I. Kravec i dr. // Metallofizika i novejshie tehnologi. – 1995. – T. 17, № 2. – S. 67-72.
  12. Vpliv opromіnennja іonami Ne+ na defektnu strukturu monokristalіv GGG / S.І. Jaremіj, V.D. Fedorіv, І.P. Jaremіj ta іn. // Naukovij vіsnik Chernіvec'kogo nacіonal'nogo unіversitetu: zbіrnik prac'. Fіzika. Elektronіka. – Chernіvcі: Ruta, 2009. – Vip. 438.– S. 89-94.

Повний текст: PDF
5 :: 0

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.