Взаємодія поверхні CdTe змінної кристалоґрафічної орієнтації з розчинами на основі І2 та Н2О2–НІ

В. Г. Іваніцька, З. Ф. Томашик, В. М. Томашик

Анотація


На основі експериментальних досліджень процесів хемічної взаємодії поверхні монокристалів CdTe різних кристалоґрафічних напрямків з йодвмісними (І2–СН3ОН, І2ДМФА), та йодвиділяючими розчинами (H2O2HІ–розчинник) розроблено склади травильних композицій та методики обробки поверхні CdTe. З використанням математичного планування експерименту побудовано поверхні однакових швидкостей травлення вказаних напівпровідників у досліджуваних системах розчинів. Орґанічним компонентом травильних композицій використано: метанол, етиленгліколь, цитратну, лактатну, тартратну кислоти, а також суміші етиленгліколю та цитратної кислоти. Встановлено вплив орґанічного розчинника на процес хемічного травлення і поліруючі властивости травників, до складу яких вони входять. Досліджено кінетичні обмеження процесу розчинення, визначено межі існування ділянок поліруючих, неполіруючих та селективних розчинів у кожній з досліджуваних систем. Вперше показано вплив кристалоґрафічної орієнтації поверхні монокристалічного CdTe на швидкість і характер взаємодії із розчинами розроблених травильних композицій. Визначено залежність розмірів ділянок поліруючих розчинів у потрійних йодвиділяючих системах від орієнтації монокристалічної поверхні зразків. Встановлено існування компенсаційної залежности в кінетиці хемічного травлення CdTe водними розчинами досліджуваних систем. На основі аналізи результатів кінетичних вимірювань, металоґрафічного та профілоґрафічного дослідження, а також Х-проміневої фотоелектронної спектроскопії (ХФЕС) проведено оптимізацію складів травників та технолоґічних режимів процесу хемічної модифікації поверхні CdTe.

Ключові слова: кристалоґрафічна орієнтація, травлення, поверхня, кадмій телурид, хемічне полірування, травильна композиція.

Посилання:

  1. Tomashik Z.F., Ivanickaja V.G., Tomashik V.N., Fejchuk P.I., Shherbak L.P. Vlijanie kristallograficheskoj orientacii monokristallov CdTe na zakonomernosti ih himicheskogo travlenija v rastvorah ioda v dimetilformamide // Zhurn. neorg. himii. – 2005. – T. 50, № 11. – S. 1765 – 1768.
  2. Іvanіc'ka V.G., Tomashik Z.F., Fejchuk P.І., Shherbak L.P., Tomashik V.M. Vzaemodіja monokristalіchnogo CdTe rіznoi kristalografіchnoi orіentacіi z rozchinami sistemi І2–SN3ON // Voprosy himii i him. tehnologii.– 2006. – № 3. – S.15-18.
  3. Tomashik Z.F., Іvanіc'ka V.G., Tomashik V.M., Fejchuk P.І. Vzaemodіja kadmіj teluridu z jodvidіljajuchimi rozchinami potrіjnoi sistemi H2O2–HI–etilenglіkol' // Naukovij vіsnik ChNU. – Vip. 307 – Hіmіja. – Chernіvcі: ChNU. – 2006. – S. 136-141.
  4. Ivanickaja V.G., Tomashik Z.F., Tomashik V.N., Fejchuk P.I., Moravec P., Franc Ja. Vlijanie kristallograficheskoj orientacii CdTe na ego travlenie iodvydeljajushhimi smesjami N2O2 – NI – S6N8O7/jetilenglikol' // Kondensir. sredy i mezhfaz. granicy. – 2007. – T.9, №1. – S. 47-52.
  5. Ivanits’ka V.G., Moravec P., Franc J., Tomashik Z.F., Feychuk P.I., Tomashik V.M., Shcherbak L.P., Masek K., Hcschl P. Chemical etching of CdTe in aqueous solutions of H2O2–HI–citric acid // J. Electron. Mater. – 2007. – V. 36, №8. – P. 1021-1024.
  6. Іvanіc'ka V.G., Shherbak L.P. Doslіdzhennja kіnetiki rozchinennja kristalіv CdTe v rozchinah sistemi І2–metanol // Zbіrnik nauk. prac': H nauk. konf. “L'vіvs'kі hіmіchnі chitannja. – 2005”. – L'vіv (Ukraina): Vidavn. centr L'vіv. nac. unіversitetu іm. Іvana Franka. – 2005. – S. F106.
  7. Tomashik V.M., Іvanіc'ka V.G., Tomashik Z.F. Vpliv kristalografіchnoi orіentacіi CdTe na hіmіchne travlennja rozchinami jodu v dimetilformamіdі // Fіzika і tehnologіja tonkih plіvok. Materіali H Mіzhn. konferencіi. – Іv.-Frankіvs'k (Ukraina) – 2005. – Tom. 1. – S. 218-219.
  8. Ivanits’ka V., Tomashik Z., Feychuk P., Tomashik V., Shcherbak L. Interaction of the different orientation CdTe single crystals with the iodine emerging solutions of the H2O2–HI–glycol system // XIIth Іnternational Seminar on Physics and Chemistry of Solids. – Lviv. – 2006. – P. 121.
  9. Ivanits’ka V.G., Moravec P., Franc J., Tomashik Z.F., Feychuk P.I., Tomashik V.M., Shcherbak L.P. Chemical polishing of CdTe in water solutions of H2O2–HI–citric acid // The 2006 U.S. Workshop on the Physics and Chemistry of II–VI Materials. – Newport Beach, California (USA). – 2006. – P. 41-42.
  10. Ivanickaja V.G., Tomashik Z.F., Fejchuk P.I., Moravec P., Tomashik V.N., Franc Ja. Travlenie monokristallov CdTe razlichnoj orientacii iodvydeljajushhimi rastvorami N2O2–NІ–S6N8O7/jetilenglikol' // III Vserossijskaja konferencija “Fiziko-himicheskie processy v kondensirovannom sostojanii i na mezhfaznyh granicah (FAGRAN-2006)”. – Voronezh (Rossija). – 2006. – S. 529-532.
  11. Tomashik V.M., Іvanіc'ka V.G., Tomashik Z.F., Fejchuk P.І., Moravec P., Franc Ja. Osoblivostі hіmіchnogo travlennja monokristalіv CdTe rіznoi kristalografіchnoi orіentacіi rozchinami na osnovі І2 ta N2O2–NІ // Fіzika і tehnologіja tonkih plіvok ta nanosistem. Materіali HІ Mіzhn. konferencіi. – Іv.-Frankіvs'k (Ukraina) – 2007. – Tom. 1. – S. 49-51.
  12. Іvanіc'ka V.G., Tomashik Z.F., Tomashik V.M., Fejchuk P.І., Moravec P., Franc Ja. Vzaemodіja CdTe rіznoi kristalografіchnoi orіentacіi z travil'nimi kompozicіjami N2O2–NІ–SN3ON // Zbіrnik nauk. prac': HІ nauk. konf. “L'vіvs'kі hіmіchnі chitannja. – 2007”. – L'vіv (Ukraina): Vidavn. centr L'vіv. nac. unіversitetu іm. Іvana Franka. – 2007. – S. N 34.

Повний текст: PDF
5 :: 0

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.