Структура і коливні спектри тонких плівок β-Ga2O3

O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. I. Medvid,, I. Yo. Kukharskyy, V. V. Ptashnyk, M. V. Partyka

Анотація


Досліджено структуру, фазовий склад і морфологію поверхні тонких плівок b–Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, отриманих методом високочастотного іонно-плазмового розпилення, після відпалу у різних атмосферах. Виміряно спектри ІЧ-відбивання системи тонка плівка b–Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> – підкладка з плавленого кварцу υ–SiO<sub>2</sub> в області 400 - 1600 см<sup>–1</sup> при Т = 295 К. Проведено інтерпретацію піків у спектрі плівок b–Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, що пов’язані з коливаннями Ga–O фрагментів у структурних тетраедричних GaO<sub>4</sub> та октаедричних GaO<sub>6</sub> комплексах.

Ключові слова: оксид галію, тонкі плівки, коливні спектри


Посилання


Z. Liu, T. Yamazaki, Y. Shen, T. Kikuta, N. Nakatani, Y. Li, Sensors and Actuators B 129 (21), 666 (2008).

J.-T. Yan, C.-T. Lee, Sensors and Actuators B 143 (1), 192 (2009).

M. Passlack, M. Hong, E. F. Schubert, J. R. Kwo, J. P. Mannaerts, S. N. G. Chu, N. Moriya, F. A. Thiel, Appl. Phys. Lett. 66 (5), 625 (1995).

J.-G. Zhao, Z.-X. Zhang, Z.-W. Ma, H.-G. Duan, X.-S. Guo, E.-Q. Xie, Chin. Phys. Lett. 25 (10), 3787 (2008).

K. Shimamura, E. G. Víllora, T. Ujiie, K. Aoki, Appl. Phys. Lett. 92 (20), 201914 (2008).

P. Wellenius, A. Suresh, J. V. Foreman, H. O. Everitt, J. F. Muth, Mater. Sci. Eng. B 146 ( 1–3), 252 (2008).

T. Minami, T. Shirai, T. Nakatani, T. Miyata, Jpn. J. Appl. Phys. 39 (6A), L524 (2000).

T. Miyata, T. Nakatani, T. Minami, Thin Sol. Films 373, 145 (2000).

Z. Ji, J. Du, J. Fan, W. Wang, Opt. Mater. 28 (4), 415 (2006).

Y. Nakano, T. Jimbo, Appl. Phys. Lett. 82 (2), 218 (2003).

T. Minami, Y. Kuroi, T. Miyata, H. Yamada, S. Takata, J. Lumin.72–74, 997 (1997).

S.-A. Lee, S.-Y. Jeong, J.-Y. Hwang, J.-P. Kim, M.-G. Ha, C.-R. Cho, Integr. Ferroelectr. 74 (1), 173 (2005).

R. Suzuki, S. Nakagomi, Y. Kokubun, N. Arai, S. Ohira, Appl. Phys. Lett. 94 (22), 222102 (2009).

T. Oshima, S. Fujita, Phys. Status Solidi C 5 (9), 3113 (2008).

Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, S. Nakagomi, Appl. Phys. Lett. 90 (3), 031912 (2007).

M. Orita, H. Ohta, M. Hirano, H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 77 (25), 4166 (2000).

V. M. Kalygina, V. V. Vishnikina, A. N. Zarubin, V. A. Novikov, Ju. S. Petrova, O. P. Tolbanov, [18] A. V. Tjazhev, S. Ju. Cupij, T. M. Jaskevich, FTP 47 (8), 1137 (2013).

V. D. Andreeva, V. E. Novikov, I. K. Boricheva, A. B. Speshilova, Special'nye metody rentgenografii i jelektronno-mikroskopicheskogo issledovanija materialov (Izd-vo politehn. un-ta, Sankt-Peterburg, 2008).

L. D. Landau, E. M. Lifshic, Jelektrodinamika sploshnyh sred (Nauka, Moskva, 1982).O. M. Bordun, I. Yo. Kukharskyy, B. O. Bordun, V. B. Lushchanets, J. Appl. Spectrosc. 81 (5), 771 (2014).

R. Rao, A. M. Rao, B. Xu, J. Dong, S. Sharma, M. K. Sunkara, J. Appl. Phys. 98 (9), 094312 (2005).

D. Dohy, G. Lucazeau, J. Mol. Struct. 79, 419 (1982).

B. Liu, M. Gu, X. Liu, Appl. Phys. Lett. 91 (17), 172102 (2007).

Y. H. Gao, Y. Bando, T. Sato, Y. F. Zhang, X. Q. Gao, Appl. Phys. Lett. 81 (12), 2267 (2002).


Повний текст: PDF
7 :: 17

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.