Вплив зміни концентрації C4H6O6 в складі композицій (NH4)2Cr2O7-HBr-C4H6O6 на параметри хіміко-динамічного полірування напівпровідників типу AIIIB V

I. V. Levchenko, I. B. Stratiychuk, V. M. Tomashyk, G. P. Malanych

Анотація


В роботі наведено результати експериментального визначення впливу вихідної концентрації тартратної кислоти на особливості хімічної взаємодії напівпровідників InAs, InSb, GaAs та GaSb з травильними розчинами (NH4)2Cr2O7-HBr-C4H6O6. Встановлено, що введення C4H6O6 знижує загальну швидкість розчинення кристалів, підвищуючи в’язкість травильних композицій, а також покращує поліруючі властивості травильних розчинів. Порівняльний аналіз впливу зміни складу травильних композицій (NH4)2Cr2O7-HBr-C4H6O6 з різною вихідною концентрацією C4H6O6 на параметри хіміко- динамічного полірування свідчить про те, що застосування 40 %-ної C4H6O6, в порівнянні з 27%-ною, забезпечує якісніше полірування поверхні кристалів.

Ключові слова: хіміко-динамічне полірування, травильні композиції, напівпровідники, тартратна кислота, ефект хелатування.


Посилання


http://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=8357 від 17.07.2016.

http://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=8355 від 17.07.2016.

http://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=8356 від 17.07.2016.

http://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=8349 від 17.07.2016.

J. -G. Banuelos, E. V. Basiuk and J. -M. Saniger-Blesa, Rev. Mex. Fris. 49(4), 310 (2003).

S. Adachi, J. Electrochem. Soc.: Solid−state science and technology 129(3), 609 (1982).

R. Srnanek, M. l. Gomati, I. Novotny, D. Pudis, Journal of Crystal Growth. 179, 320 (1997).

D. Sanchez, L. Cerutti and E. Tournie, Semicond. Sci. Technol. 27, 085011 (2012).

P. Bandaru, Mat. Res. Soc. Proc. 782, A13.5.1 (2004).

V. Y. Ivanova, V. V. Chevela, S. G. Bezryadin, Y. I. Salnikov, L. I. Nigmadzyanova, L. A. Almetkina, Bull ONU 5, 4 (2006).

P. Mancheno-Posso and A. J. Muscat, Solid State Phenomena 219, 52 (2015).

Sh. O. Eminov, Kh. D. Jalilov, and E. A. Mamedov, Inorganic Materials 47(4), 340 (2011).

F. M. Mohammedy, M. J. Deen, J Mater Sci: Mater Electron 20, 1039 (2009).

R. Srnanek, M. El. Gomati, I. Novotny, D. Pudis, Journal of Crystal Growth. 179, 320 (1997).


Повний текст: PDF
7 :: 17

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.