Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температурі

Leandro Voisin, Makoto Ohtsuka, Svitlana Petrovska, Bogdan Ilkiv, Ruslan Sergiienko, Takashi Nakamura

Анотація


Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова нанесені за допомогою магнетронного напилення вчистому аргоні та в змішаній атмосфері аргон-кисень при кімнатній температурі. Для плівок, нанесених вчистому аргоні та підданих термообробці при 923 K величина пропускання плівки у видимій областіспектра перевищувала 85% , а питомий опір становив 2420 мкОм·см. Індійзберігаючі тонкі плівки оксидуіндію-олова безпосередньо після напилення аморфні, та їх кристалічність покращується з підвищеннямтемператури термообробки. Було встановлено, що зростання температури термообробки не підвищуєпропускання плівок при швидкості потоку кисню, що перевищував 0,4 см3/хв.

Ключові слова: індійзберігаючі плівки оксиду індію-олова; магнетронне напилення; електричнівластивості; оптичні властивості.


Посилання


S. Ishibashi, Y. Higuchi, Y. Ota, K. Nakamura, J.V ac. Sci. Technol. A 8(3), 1403 (1990).

Y. Hoshi, R. Ohki, Electrochimica Acta 44, 3927 (1999).

C. Guillén, J. Herrero, Thin Solid Films 480–481, 129 (2005).

J. Ma, D. Zhang, S. Li, J. Zhao, H. Ma, Jpn. J. Appl. Phys. 37, 5614 (1998).

F. O. Aduodija, H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, M. Motoyama, K. Murai, Jpn. J. Appl. Phys. 39, L377 (2000).

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 6451 (1999).

P. K. Biswas, A. De, K. Ortner, S. Korder, Materials Letters 58, 1540 (2004).

P. K. Biswas, A. De, N. C. Pramanika, P. K. Chakraborty, K. Ortner, V. Hock, S. Korder, Materials Letters 57, 2326 (2003).

K. Utsumi, H. Iigusa, R. Tokumaru, P.K. Song, Y. Shigesato, Thin Solid Films 445, 229 (2003).

L. Voisin, M. Ohtsuka, T. Nakamura, Mater. Trans. 51(3), 503 (2010).

L. Voisin, M. Ohtsuka and T. Nakamura, ICCE-17 International Conference, (Hawaii, USA, 2009).

L. Kerkache, A. Layadi, A. Mosser, Journal of Alloys and Compounds 485, 46 (2009).

K.-H. Kim, Journal of Ceramic Processing Research. 8, 19 (2007).

S. Li, X. Qiao, J. Chen, Materials Chemistry and Physics 98, 144 (2006).


Повний текст: PDF
7 :: 18

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.