Розрахунок теплопровідності плівок Si1-xGex з неоднорідним складом

V. V. Kuryliuk, O. M. Krit

Анотація


З використанням рівняння Больцмана в наближенні часу релаксації розраховано температурні залежності коефіцієнта теплопровідності кремній-германієвих плівок з неоднорідним розподілом германію по товщині структури. Показано, що теплопровідність плівок Si1-xGex зменшується зі збільшенням ступеня їх неоднорідності. Проаналізовано механізми фононного розсіювання в досліджуваних плівках та встановлено домінуючі процеси, якими визначаються процеси теплоперенесення в області високих і низьких температур.

Ключові слова: коефіцієнт теплопровідності, плівка, кремній, германій, рівняння Больцмана.

 




Посилання


Y. Li, H. Jacobson, B. Hansson, M. Mokhtari, and T. Lewin, II International Conference on Microwave and Millimeter Wave Technology Proceedings (IEEE, Beijing, China , 2010), p. 20.

G. Ghione, Semiconductor Devices for High-Speed Optoelectronics (Cambridge University Press, New York, 2009).

A. Yakimov, V. Kirienko, V. Armbrister and A. Dvurechenskii, Nanoscale Research Letters, 8, 1 (2013).

D.-W. Kim, T. Kim and S. K. Banerjee, IEEE Trans. Electron Devices, 50(9), 1823 (2003).

M. Grydlik, F. Hackl, H. Groiss, M. Glaser, A. Halilovic, T. Fromherz, W. Jantsch, F. Schäffler, and M. Brehm, ACS Photonics, 3(2), 298 (2016).

L. Jia, G.Fan, W. Zi, X. Ren, X. Liu, B. Liu, S. Liu, Solar Energy, 144, 635 (2017).

J. Lu, R. Guo, and B. Huang, Appl. Phys. Lett., 108(14), 141903 (2016).

M. Upadhyaya, S. Nazanin Khatami and Z. Aksamija, Journal of Materials Research, 30(17), 2649 (2015).

A. Samarelli, L. Ferre, S. Cecchi, J. Frigerio, T. Etzelstorfer, E. Müller, Y. Zhang, J. R. Watling, D. Chrastina, G. Isella, J. Stangl, J. P. Hague, J. M. R. Weaver, P. Dobson, and D. J. Paul, Journal of Applied Physics, 113(23), 233704 (2013).

D. T. Morelli and J. P. Heremans, Physical Review B., 66(19), 195304 (2002).

S. Yi and Ch. Yu Journal of Applied Physics, 117(3), 035105 (2015).


Повний текст: PDF (Ukr.) PDF (En.) (English)
7 :: 19

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.